珠海电子工业用氩气纯度分析

项目

指标

氩气（Ar）纯度（体积分数）/10^-2

≤

99.9999

99.9992

氢（H2）含量（体积分数）/10^-6

＜

0.1

1

氮（N2）含量（体积分数）/10^-6

＜

0.5

5

氧（O2）含量（体积分数）/10^-6

＜

0.2

0.5

一氧化碳（CO）含量和二氧化碳（CO2）总含量（体积分数）/10^-6

＜

一氧化碳：0.1

0.5

二氧化碳：0.1

总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10^-6

＜

0.1

0.5

水分（H₂O）含量（体积分数）/10^-6

＜

0.2

0.5

杂质总含量含量（体积分数）/10^-6

≤

1

8

颗粒

供需双方商定

供需双方商定

注：液态氩的水分应气化后测定

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